SFM激光振鏡掃描場焦點分析儀采用刻有10~15微米厚測量線玻璃板的技術表征激光光束特性，光電二極管探測刻線的散射光來測量激光光斑

在增材制造工業領域恩耐AFX－1000環形光斑激光器越來越受到關注。德國PRIMES公司的激光掃描場焦點分析儀 ScanFieldMonitor（SFM）設計用于監測激光振鏡掃描系統狀態以及維持增材制造3D打印加工質量，榮獲AKL 2022激光技術創新獎一等獎。本文展示了SFM對AFX－1000激光器不同模式光斑的一系列測量，揭示了SFM觀察到的模式振蕩的來源，光斑分布結果與激光粉末床熔合LPBF加工效果一致。

恩耐AFX－1000是一款在光纖內部進行光斑調整的kW激光器，可自由切換14μm單模纖芯高斯光和40μm多模環形光等7種模式，無需多余的光學鏡組。以增材制造應用為研發初衷，AFX在環形光斑模式下能夠穩定熔池，減少煙塵和飛濺，提高材料的加工質量和生產效率。離散型的設計理念可實現每秒30次的極速光斑切換，為因熔化與凝固比例問題、微觀物理特性與熱應力所導致的零部件失效提供了全新的解決方案。AFX光纖激光器在環形光斑模式下加工致密材料（致密度＞99.5％）的速度已超過每小時100立方厘米。

SFM可在3秒內測量功率10W~1500W激光掃描場50μm~500μm聚焦光斑的直徑、位置、掃描速度，峰值功率密度可高達100MW/cm2

德國PRIMES公司的激光掃描場焦點分析儀SFM是一款多功能一體化的激光光束診斷設備。這項研發是由增材制造選擇性激光熔化SLM或激光粉末床熔合LPBF的許多新應用而推動的。SFM分析儀可在整個掃描場范圍測量激光焦點參數：光斑直徑、位置、掃描速度；還可以確定枕形失真、重疊掃描場的合并、焦點偏移以及激光的開啟和關閉延遲、熱透鏡檢查等時間分辨分析；并且能實現LDS軟件遠程控制，從而使用戶能夠更好地校準激光3D打印機。

AFX－1000的7種Index光斑模式（MSM+測出焦點二維光斑及橫向分布），SFM測出焦點橫向分布（多次平均后的） 

PRIMES MSM+ CCD型微細焦點分析儀功能完善，測出AFX－1000的7種Index焦點二維光斑及橫向分布作為標準（500W靜止光）。PRIMES SFM測量AFX－1000 500W 1m/s掃描加工速度下的焦點橫向分布，很接近MSM+的測量結果，測得的光斑直徑與MSM+測量結果一致，誤差在3%以內。SFM測量頭8×8×10厘米，相比MSM+體積小40倍，性價比更高，能直接測量掃描加工速度下的運動光，入射角度最高可達20度，可以在整個掃描區域測量，更適合3D打印激光測量。

SFM測量AFX－1000 Index 5光斑經過10次平均后的焦點橫向分布，10次測量可以看見光斑模式振蕩的細節，平均（紅色）后振蕩細節消失 

AFX輸出環形光斑時為多橫模，多模之間有模式競爭。相比MSM+ CCD毫秒級曝光時間、1秒測一次光斑看不見光斑模式振蕩細節，SFM最高響應10m/s的掃描速度、1秒高達100次測量可以看見模式振蕩細節。10次測量AFX Index 5光斑模式的焦點橫向分布可以看見模式競爭的振蕩細節，平均后（紅色）振蕩細節消失，環形光斑對應粉末床的平頂強度分布。

AFX Index 0（左）與 Index 5（右）兩種模式加工剖面對比圖，紅線區表示固化熔融池范圍，很明顯環形光斑可以降低深度擴大面積

TUM慕尼黑技術大學測試了AFX不同模式對316L不銹鋼的LPBF加工影響。采用300W功率 800mm/s的掃描速度。相比高斯光Index 0，環形光Index 5熔化池淺而寬效果更好，從而可以增加功率與掃描速度，加工效率由12mm/s (Index 0)大大提高到20mm/s (Index 5)。

結論：德國PRIMES公司的激光掃描場焦點分析儀SFM精密測量了恩耐AFX激光器非高斯光斑，測得的光斑強度平均分布非常接近于粉末床上沉積的能量分布。